真空镀膜机乳化机辅助抽气系统详细介绍

　　乳化机:又称前级泵，乳化机是应用zui广泛的粗真空泵之一。它利用油维持密封效果，通过机械手段不断改变泵内吸入室的容积，使泵送容器内的气体容积不断膨胀，获得真空。

　　乳化机有很多种，其中常用的有四种:滑阀式(主要用于大型设备)、活塞往复式、定子板式、旋转板式(目前应用zui广，本文主要介绍)。

　　乳化机常用于去除干燥空气，但不能去除高含氧量、爆炸性和腐蚀性气体。乳化机一般用于去除yongjiu气体，但对水蒸气没有很好的效果，所以不能去除水蒸气。旋转叶片泵的主要部件有定子、转子、弹片等。转子在定子内部，但主轴与定子不同，像两个内接圆。两个弹片安装在转子槽中，两个弹片之间安装有弹簧，以确保弹片与定子内壁紧密贴合。

　　它的两个弹片交替起两个作用:一方面从进气口吸入气体，另一方面压缩吸入的气体，排出泵外。每当转子转动时，泵就完成两次吸入和两次排出。当泵继续顺时针旋转时，旋叶片泵通过进气口不断吸入空气，从出气口不断将空气排出泵外，从而达到将空气抽出容器的目的。为了提高泵的ji限真空度，泵的定子浸在油中，这样始终保持足够的油来填充各处的间隙和有害空间。因此，油一方面起润滑作用，另一方面密封和堵塞间隙和有害空间，防止气体分子通过各种通道回流到低压空间。

　　乳化机从大气工作，其主要参数包括ji限真空和抽气速率，是乳化机设计和选择的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽至ji限真空1.0*10-1PA，双级乳化机泵可以将容器从大气抽至6.7*10-2Pa甚至更高。

　　泵送率是指旋转叶片泵以额定速度运行时单位时间内可排出的气体量，可通过以下公式计算:

　　Sth=2nVs=2nfsL

　　Fs表示吸气结束时腔体的截面积，L表示腔体的长度，系数表示转子每转有两个排气过程，Vs表示转子处于水平位置时，吸气结束，此时腔体中的体积zui大，转速为n。..

　　乳化机的排气效果也与电机转速和皮带松紧有关。当电机皮带松动，电机转速较慢时，乳化机的排气效果会变差，需要经常维护检查。乳化机油的密封效果也需要经常检查。如果油量过少，无法达到密封效果，泵就会漏气漏油过多，堵塞吸油孔，无法吸排。通常，在油位处，